发明名称 |
半导体产品级别控制的方法与系统 |
摘要 |
本发明揭露一种半导体产品级别控制的方法,应用于制造积体电路元件,其中,产品级别系与积体电路所呈现一种或多种特性有关,半导体产品级别控制的方法包括:对复数晶圆批次,执行复数制程;决定所需产品级别数量、现有产品级别数量与生产中产品级别数量;将已决定之所需产品级别数量,与已决定之现有产品级别数量以及已决定之生产中产品级别数量作比较;以及若已决定之现有产品级别数量与已决定之生产中产品级别数量无法满足已决定之所需产品级别数量,则修正晶圆批次之制程中之至少一者。 |
申请公布号 |
TWI402762 |
申请公布日期 |
2013.07.21 |
申请号 |
TW098143612 |
申请日期 |
2009.12.18 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
巫尚霖;施志昇;曾衍迪;王若飞;牟忠一;关欣 |
分类号 |
G06Q10/00 |
主分类号 |
G06Q10/00 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |