光罩水洗清洁机构

摘要

本创作提出一种光罩水洗清洁机构，其系将擦拭元件包覆于中心轴之表面，并持续喷射清洁液体以对擦拭元件进行清洁，当欲清洁之光罩接触中心轴时，根据光罩移动的方向可旋转清洁后之擦拭元件或者以乾净之擦拭元件进行光罩的清洁，可有效减少尘粒、脏污等沾附于清洁后之光罩，并增进光罩水洗清洁机构使用之便利性。