埋藏位元线及其制造方法

摘要

本发明提供一种埋藏位元线及其制造方法，上述埋藏位元线设置于一基板的一沟槽中，包括一扩散区，形成于邻接上述沟槽的部分上述基板中；一遮蔽层，形成于上述沟槽的部分侧壁上；一导电物，形成于上述沟槽中，且覆盖上述扩散区和上述遮蔽层的侧壁。