剪刀式升举传送自动控制仪器

摘要

兹描述一种传送自动控制仪器(robot)之方法与设备，其用于一真空环境中。该传送自动控制仪器包括一升举组件，其包含一第一平台与一第二平台；复数个支撑构件，其耦接该第一平台与该第二平台，该等复数个支撑构件包含一第一支撑构件对与一第二支撑构件对；一第一驱动组件，其耦接至所述复数个支撑构件其中一部分，该第一驱动组件对所述复数个支撑构件提供一移动力，以使该第二平台以相对于该第一平台之一第一线性方向移动；以及一端效器(end effector)组件，其配置于该第二平台上且可藉由一第二驱动组件而以一第二线性方向移动，该第二线性方向与该第一线性方向正交。