液体喷射头、液体喷射装置及压电元件

摘要

本发明提供一种喷射特性高的液体喷射头及液体喷射装置以及变位特性高的压电元件。液体喷射头，具有与喷射液体的喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)以及压电元件(300)，该压电元件(300)具有：第一电极(60)；至少包括铅、锆及钛且形成在该第一电极上的压电体层；以及形成在压电体层上的第二电极，其中，压电体层，当在膜厚方向上通过二次离子质谱分析法对压电体层进行分析的情况下，表示碳强度的最大值与碳强度的最小值的比的碳强度比(最大值/最小值)大于等于8小于等于28。

主权项

一种液体喷射头，具有与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室以及压电元件，所述压电元件具有：第一电极；形成在该第一电极上的、包括钙钛矿型氧化物的压电体层，该钙钛矿型氧化物包含铅、锆及钛；以及形成在该压电体层上的第二电极，其特征在于：所述压电体层，在从所述第二电极侧开始、在厚度方向上除去了20nm左右的区域之外的区域，在膜厚方向上通过二次离子质谱分析法进行分析时的、表示碳强度的最大值与碳强度的最小值的比的碳强度比(最大值/最小值)大于等于8小于等于28。