发明名称 |
一种新型多晶硅铸锭去杂装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种新型多晶硅铸锭去杂装置,其包括真空炉体、隔热笼、抽气管以及软管;其中,所述真空炉体的顶部设有一慢抽口;所述隔热笼设置于真空炉体内,其内侧安装有保温板;所述抽气管一端通过一石墨螺栓固定在隔热笼的顶部,另一端与慢抽口连接;所述慢抽口和软管之间通过一转接头连接。本实用新型的新型多晶硅铸锭去杂装置通过设置抽气管,来促进热场内部的热量流动,一定程度加速硅锭内部的排杂,且适合于大硅锭去杂。 |
申请公布号 |
CN203065166U |
申请公布日期 |
2013.07.17 |
申请号 |
CN201320011783.4 |
申请日期 |
2013.01.10 |
申请人 |
浙江精功科技股份有限公司 |
发明人 |
金越顺;袁华中;朱伟锋;孟高祥;邢洁 |
分类号 |
C01B33/037(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/037(2006.01)I |
代理机构 |
绍兴市越兴专利事务所 33220 |
代理人 |
蒋卫东 |
主权项 |
一种新型多晶硅铸锭去杂装置,其特征在于:包括真空炉体、隔热笼、抽气管以及软管;其中,所述真空炉体的顶部设有一慢抽口;所述隔热笼设置于真空炉体内,其内侧安装有保温板;所述抽气管一端通过一石墨螺栓固定在隔热笼的顶部,另一端与慢抽口连接;所述慢抽口和软管之间通过一转接头连接。 |
地址 |
312030 浙江省绍兴市绍兴县柯桥柯西工业区鉴湖路1809号 |