一种压电谐振器

摘要

本实用新型公开了一种压电谐振器，包括工作区，工作区由压电薄膜层及形成于压电薄膜层的上表面上的上金属电极和形成于压电薄膜层的下表面上的下金属电极组成，压电薄膜层由等高度的一个中心方柱压电体和多个边长各不相同的中空方柱状压电体组成，小边长的中空方柱状压电体同轴位于大边长的中空方柱状压电体内，中心方柱压电体同轴位于具有最小边长的中空方柱状压电体内，优点是这种结构不仅减小了寄生振动模式的幅度，而且能够有效地提高机电耦合系数。

主权项

一种压电谐振器，包括工作区，所述的工作区由压电薄膜层及形成于所述的压电薄膜层的上表面上的上金属电极和形成于所述的压电薄膜层的下表面上的下金属电极组成，其特征在于所述的压电薄膜层由等高度的一个中心方柱压电体和多个边长各不相同的中空方柱状压电体组成，小边长的所述的中空方柱状压电体同轴位于大边长的所述的中空方柱状压电体内，所述的中心方柱压电体同轴位于具有最小边长的所述的中空方柱状压电体内。