具有直接装载台板的抛光设备和方法

摘要

本发明提供一种用于化学机械抛光的方法和设备，其包括支撑着抛光物件的台板、位于台板附近的机械手、带有保持环的载具头、以及载具头支撑机构。机械手被设置成将衬底定位在抛光物件上，载具头支撑机构被设置成使载具头移动到使保持环围绕衬底的位置。

主权项

一种对抛光系统进行操作的方法，包括：用机械手将衬底放置到抛光表面上；使载具头的至少一部分处于装载位置，使得所述载具头的保持环围绕所述衬底；和使得所述载具头与所述抛光表面之间进行相对运动以对所述衬底进行抛光。