一种投影物镜差分微调装置

摘要

本实用新型属于光刻机调节装置，具体涉及一种投影物镜差分微调装置。所述投影物镜差分微调装置，其包括镜筒、镜座、均匀分布在镜筒圆周上的三个螺杆机构和与螺杆机构上下对应的相同数量的柱塞机构，镜座由螺杆机构和柱塞机构夹持，悬于镜筒内。螺杆机构和柱塞机构可相对镜筒进行上下运动，从而使镜座在镜筒内上升、下降或倾斜。本实用新型利用差分结构进行调节，镜筒与镜座之间通过差分螺纹调节，其调节精度取决于差分螺纹之间的螺纹差，可实现镜片z向调节和倾斜调节；所选螺纹螺距适中，可靠性高；簧片结构解决调节过程中的偏心问题；非螺纹连接机构，减小倾斜调节时螺杆对镜座产生的应力。

主权项

一种投影物镜差分微调装置，包括镜筒和镜座，其特征在于，还包括均匀分布在镜筒圆周上的至少三个螺杆机构和与螺杆机构上下对应的相同数量的柱塞机构，镜座由螺杆机构和柱塞机构夹持，悬于镜筒内。