基板检测装置

摘要

一种基板检测装置，用于检测一基板的平整度。基板检测装置包括一运送平台、一基座、一滑轮组及一感测处理器。运送平台用以沿一第一方向运送基板。基座固定在运送平台上。滑轮组可移动地设置在基座，并位于运送平台上方。滑轮组用以接触基板，以在基板不平整时滑轮组沿着基板的轮廓而有垂直于第一方向的一第二方向的位移。感测处理器用以感测滑轮组沿第二方向上的位移以产生不平整的感测信号。

主权项

一种基板检测装置，用于检测一基板的平整度，其特征在于该基板检测装置包括：一运送平台，用以沿着一第一方向运送该基板；一基座，固定在该运送平台上；一滑轮组，可移动地设置在该基座，并位于该运送平台上方，该滑轮组用以接触该基板，以在该基板不平整时该滑轮组沿着该基板的轮廓而有垂直于该第一方向的一第二方向的位移；以及一感测处理器，用以感测该滑轮组于该第二方向上的位移以产生不平整的感测信号。