发明名称 三单元130毫米功率器件模块动态特性的测试装置
摘要 本实用新型提供了一种三单元130毫米功率器件模块动态特性的测试装置,其中,底座上开设有凹槽,用于容置待检测三单元130毫米功率器件模块。所述夹具用于与待检测模块的各个极相接触,还在底座上设置有转换接口,用于将夹具上的弹簧引脚与测试仪器相连。并在底座上设置有第一开关和第二开关,其中,第一开关用于控制待检测模块的栅极与源极短路或断路,第二开关用于选择切换待检测模块中第一IGBT模块、第二IGBT模块或第三模块。采用本实用新型提供的测试装置,通过第一开关以及第二开关实现对不同IGBT模块的切换,且无需对待检测的模块的各个极进行连线,操作简单,测试效率高,除此,减少了引线,进而减少了寄生电容,使测试更加准确。
申请公布号 CN203069689U 申请公布日期 2013.07.17
申请号 CN201220642379.2 申请日期 2012.11.28
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 陆江;朱阳军;高振鹏;佘超群;成星
分类号 G01R31/00(2006.01)I 主分类号 G01R31/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 王宝筠
主权项 一种三单元130毫米功率器件模块动态特性的测试装置,其特征在于,包括:底座,所述底座开设有凹槽;设置在所述凹槽内的夹具,所述夹具上设置有能够与所述待检测三单元130毫米功率器件模块的各个极分别相接触的九个弹簧引脚;设置在所述底座上,用于将所述弹簧引脚与外接测试仪器相连的转换接口;设置在所述底座上,用于控制所述待检测三单元130毫米功率器件模块的栅极与源极短路或断路的第一开关;设置在所述底座上,用于选择切换所述待检测三单元130毫米功率器件模块中第一IGBT模块、第二IGBT模块或第三IGBT模块的第二开关。
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所