超薄晶圆吸取盘

摘要

本创作系指一种超薄晶圆吸取盘，其主要改良在于：吸取盘本体包括有一真空吸附凹槽及数外侧非真空涡漩吸附孔所组成，该真空吸附凹槽设置于本体向外延伸微凸吸盘表面，形成第一吸附结构功能；其中，数外侧非真空涡漩吸附孔则围绕微凸吸盘间形成第二吸附结构，得于外环产生低气压涡漩向上吸引功效，进而使超薄晶圆外环径面吸引漂浮，予利超薄晶圆环面完全整平于真空吸附凹槽之微凸吸盘表面，俾令重力或自体翘曲变形之超薄晶圆呈现可完全平稳定位吸附快速移动功能之构造者。