用于混合流体、包含使至少一种流体与近临界或超临界载体流体混合的装置和方法

摘要

本发明一般而言系有关于一种用于混合流体的方法与装置。更特别的是，本发明系有关于一种用于混合导入至接近临界与超临界流体中以形成流体流束之流体的方法和装置。在该流体流束中，产生了密度梯度，会诱导对流速度而造成快速混合。本发明已运用在如半导体和晶圆制造的商业用途中，而其中就是需要流体的快速循环时间以及或者是快速混合，并且允许残余物公差很低。