波长检测器及使用波长检测器的接触探头

摘要

本发明提出一种波长检测器及使用波长检测器的接触探头，其中所述接触探头包括触针以及用于以光学方式检测触针姿势的光学检测器。照明对象部形成在触针上并具有三个或更多个反射面。光学检测器包括三个或更多个光纤、光源、聚光透镜组以及波长检测器。波长检测器基于由聚光透镜组和三个或更多个反射面之间的间隔变化分别引起的反射光束的波长变化来计算触针的姿势信息。接触探头基于光学检测器获得的姿势信息得到与待测物体的接触位置的坐标。

主权项

一种波长检测器，包括：平行透镜组，用于使用三个或更多个透镜把具有部分波长范围的光束转换成彼此平行的光束，所述具有部分波长范围的光束是从通过用光谱位于预定波长范围内的三个或更多个照明光束照射照明对象部的三个或更多个反射面而产生的三个或更多个反射光束中提取的；分光镜元件，用于接收来自所述平行透镜组的光束，并分别在与光束的部分波长范围对应的出射方向上输出光束；检测透镜组，用于使用三个或更多个透镜分别聚集所述分光镜元件的输出光束；光检测元件组，用于分别检测所述检测透镜组聚集的三个或更多个光束的聚焦位置，所述光检测元件组包括排列在一个平面上的多个光检测元件，所述多个光检测元件覆盖所述检测透镜组聚集的三个或更多个光束的取决于所述分光镜元件的出射方向的聚焦位置的变化范围，其中所述波长检测器根据各个检测到的聚焦位置计算所述三个或更多个光束的波长。