| 主权项 |
1.一种线宽测量装置,具有多个摄像头部和图像处 理部,通过由上述图像处理部对上述摄像头部所取 得的图像进行图像处理,来对被测物件物的所希望 的部位进行测量或检查,其特征在于, 该线宽测量装置,具有分别对上述多个摄像头部的 位置进行校正的位置校正机构, 上述图像处理部根据上述多个摄像头部所取得的 图像,对上述多个摄像头部的位置进行检测, 上述位置校正机构基于上述所检测出的位置,分别 地对上述多个摄像头部的位置进行校正。 2.一种线宽测量装置,其特征在于:具有对试样的一 部分进行放大摄影的机构、能够在同一个轴上单 独移动的多个摄像头部、用于改变摄像的试样位 置的位置校正机构、对上述所摄像的图像进行图 像处理的机构、以及使上述位置校正机构动作的 控制机构; 所述线宽测量装置对上述试样的位置偏差进行校 正。 3.一种线宽测量装置,具有多个摄像头部,能够对试 样的一部分进行放大摄像,能够分别单独移动;以 及操作机构,用于改变上述试样的位置;该线宽测 量装置具有对所摄像的图像进行图像处理的功能, 具有利用电脑程式使上述操作机构动作的控制机 构,根据上述所摄像的图像对上述试样的尺寸进行 测量,其特征在于: 该线宽测量装置具有用于对试样的搭载位置偏差 进行校正的、与摄像头部的移动轴垂直的方向的 移动微动机构;控制上述移动微动机构的微动机构 控制机构;以及对试样的搭载偏差进行测量和校正 的位置校正机构;该线宽测量装置以一个摄像头部 为基准,使其他摄像头部的位置移动,对图像取得 位置进行校正。 图式简单说明: 第1图是说明本发明的线宽测量装置的一实施例的 构成的图。 第2图是说明由于试样的搭载偏差而产生的位置误 差和校正的图。 第3图是表示本发明的线宽测量装置的一实施例的 构成的方框图。 第4图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一实 施例的流程图。 第5图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一实 施例的流程图。 第6图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一实 施例的流程图。 第7图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一实 施例的流程图。 第8图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一实 施例的流程图。 第9图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一实 施例的流程图。 第10图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一 实施例的流程图。 第11图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一 实施例的流程图。 第12图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一 实施例的流程图。 第13图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一 实施例的流程图。 第14图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一 实施例的流程图。 第15图是表示本发明涉及的各轴的动作顺序的一 实施例的流程图。 第16图是表示本发明的动作顺序的一实施例的流 程图。 |
