磁性轴承的控制装置和具备该装置的排气泵

摘要

提供一种磁性轴承的控制装置，特定构成磁性轴承的涡电流式间隙传感器的可动范围及其中心，能够容易地将借助磁性轴承而悬浮的转子轴及其他的被控制轴控制于保护轴承的中心位置。磁性轴承的控制装置（20）具有下述功能：第1功能，检测转子轴（5）的X轴方向可动极限位置；第2功能，基于由第1功能检测到的X轴方向可动极限位置而特定X轴上涡电流式间隙传感器（10C）（-X传感器、+X传感器）的X轴上可动范围的中心；第3功能，检测转子轴（5）的Y轴方向可动极限位置；第4功能，基于由第3功能检测到的Y轴方向可动极限位置而特定Y轴上涡电流式间隙传感器（10C）（+Y传感器、-Y传感器）的Y轴上可动范围的中心；第5功能，在基于第1功能的X轴方向可动极限位置的检测时及基于第2功能的X轴上可动范围的中心的特定时，切断Y轴上电磁体（+Y电磁体、-Y电磁体）的励磁电流，在基于第3功能的Y轴方向可动极限位置的检测时及基于第4功能的Y轴上可动范围的中心的特定时，切断X轴上电磁体（+X电磁体、-X电磁体）的励磁电流。

主权项

一种磁性轴承的控制装置，所述磁性轴承在XY坐标系的X轴上和Y轴上设置有涡电流式间隙传感器，利用该涡电流式间隙传感器检测该涡电流式间隙传感器与借助磁性轴承而悬浮的被控制轴的间隙，基于该检测值对X轴上电磁体和Y轴上电磁体进行励磁，从而利用这些电磁体的磁力而悬浮支承上述被控制轴，其特征在于，上述磁性轴承的控制装置具有下述功能：第1功能，检测上述被控制轴的X轴方向可动极限位置；第2功能，基于由上述第1功能检测到的X轴方向可动极限位置而特定上述X轴上涡电流式间隙传感器的X轴上可动范围的中心；第3功能，检测上述被控制轴的Y轴方向可动极限位置；第4功能，基于由上述第3功能检测到的Y轴方向可动极限位置而特定上述Y轴上涡电流式间隙传感器的Y轴上可动范围的中心；第5功能，在基于上述第1功能的X轴方向可动极限位置的检测时及基于第2功能的X轴上可动范围的中心的特定时，切断上述Y轴上电磁体的励磁电流，在基于上述第3功能的Y轴方向可动极限位置的检测时及基于第4功能的Y轴上可动范围的中心的特定时，切断上述X 轴上电磁体的励磁电流。