气体传感器

摘要

本发明涉及一种气体传感器(1)，其具有至少一个能够导电的气敏层(7)，所述气敏层具有可与目标气体形成接触的表面区域(9)，在所述表面区域中逸出功取决于与其形成接触的目标气体的浓度。至少一个电位传感器通过气隙(8)与所述表面区域(9)电容性地耦合。所述表面区域(9)通过至少一个凹槽结构化，在所述凹槽中设置有导电地与所述气敏层(7)连接的、面的材料元件(18)，所述材料元件的材料与所述气敏层(7)的材料不同并且包括一种金属和/或一种包含金属的化合物。

主权项

气体传感器（1），具有至少一个能够导电的气敏层（7），所述气敏层具有一可与目标气体形成接触的表面区域（9），在所述表面区域中逸出功取决于与其形成接触的目标气体的浓度，以及具有至少一个通过一气隙（8）与所述表面区域（9）电容性地耦合的电位传感器，其特征在于，所述表面区域（9）通过至少一个凹槽结构化，其中，面的材料元件（18）与所述气敏层（7）导电地连接，所述至少一个材料元件（18）设置在所述气敏层（7）上，并且所述气敏层（7）的表面区域（9）划分成多个区段，并且在所述气敏层（7）的两个相邻的区段之间的间隙中分别设置有一个材料元件（18）或者所述气敏层（7）设置在一金属层上，并且所述金属层的至少一个未被所述气敏层（7）覆盖的部分区域形成所述至少一个材料元件（18），其中，所述材料元件（18）的材料与所述气敏层（7）的材料不同并且包括至少一种金属。