微电子机械快门组件

摘要

披露了一种微电子机械装置。该微电子机械装置包括：第一部件，其限定平面；梁，其包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层，其中所述梁在垂直于所限定的平面方向上的尺寸是所述梁在所限定的平面内的至少一个尺寸的至少1.4倍。

主权项

一种微电子机械快门组件，包括：基片，其限定平面；布置在所述基片上的支撑点；梁，其包括悬挂在所述基片上方且连接至所述支撑点的至少一个非晶硅层，其中所述梁在垂直于所限定的平面的维度上的厚度是所述梁在平行于所限定的平面的维度上的宽度的至少1.4倍；以及相对于所述基片可移动的快门，其中所述快门至少部分地由所述梁悬挂在所述基片上方。