一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置

摘要

本发明提供了一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置，属于光栅拼接的调整装置技术领域。本发明为了解决现有的光栅姿态调整装置驱动刚度低、系统刚度低和整体稳定性差的问题。所述偏摆调整组件位于俯仰面内组件之上，偏摆调整组件的偏摆调整底板与俯仰面内组件的偏摆托框相固接，俯仰面内组件位于平动驱动组件之上，外框组件与平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三和平动导轨连接板四固接，平动驱动弯板与外框组件固接。本发明采用了三层结构实现了光栅整体的四个自由度的复合调整，解决了光栅调整架高度受限的问题。采用柔性驱动方式，各个自由度有较大的运动范围，具有结构紧凑、调整精度高和稳定性强等优点。

主权项

一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置，其特征在于，包括偏摆调整组件、俯仰面内组件和平动驱动组件；所述偏摆调整组件包括偏摆调整底板、偏摆调整托板、偏摆旋转轴、角接触背对背轴承一、偏摆轴承压环、偏摆轴承端盖、偏摆电机托框、偏摆驱动弯板、辅助支承组件、偏摆微驱动组件和偏摆锁紧板，所述角接触背对背轴承一装于偏摆调整底板的轴承孔之内，并通过偏摆轴承端盖压住轴承外环，偏摆轴承端盖通过螺钉与偏摆调整底板固连，偏摆调整托板上设有轴孔，与偏摆旋转轴一端配合安装，偏摆旋转轴另一端与角接触背对背轴承内环配合安装，并通过偏摆轴承压环固定，以实现偏摆调整底板和偏摆调整托板之间的相对旋转；偏摆微驱动组件的一侧通过偏摆电机托框与偏摆调整底板的一侧固接，偏摆微驱动组件的另一侧通过偏摆驱动弯板与偏摆调整托板固接，辅助支承组件设置在偏摆调整底板上，偏摆锁紧板设置在偏摆调整底板的另一侧上；所述俯仰面内组件包括外框组件、中框组件、偏摆托框、旋转轴一、旋转轴二、旋转轴三、旋转轴四、轴承压环一、轴承压环二、轴承压环三、轴承压环四、轴承端盖一、轴承端盖二、轴承端盖三、轴承端盖四、俯仰角接触背对背轴承、面内角接触背对背轴承、俯仰角接触面对面轴承、面内角接触面对面轴承、整体电机托板、面内驱动弯板、俯仰驱动弯板、俯仰面内微驱动器组件一和俯仰面内微驱动器组件二，外框组件包括外框左、外框右、外框前和外框后，四部分通过螺钉固接组成长方形外框组件；中框组件包括中框左、中框右、中框前和中框后，四部分通过螺钉固接组成长方形中框组件；外框左和外框右上开有轴承孔，俯仰角接触面对面轴承装于外框右的轴承孔之内，并通过轴承端盖一压住轴承外环，轴承端盖一通过螺钉与外框右固连，中框右上设有轴孔，与旋转轴一的一端配合安装，旋转轴一另一端与俯仰角接触面对面轴承内环配合安装，并通过轴承压环一固定，俯仰角接触背对背轴承装于外框左的轴承孔之内，轴承端盖二通过螺钉与外框左固联；中框左上设有轴孔，与旋转轴二的一端配合安装，旋转轴二的另一端与俯仰角接触背对背轴承内环配合安装，并通过轴承压环二固定；中框前和中框后上均开有轴承孔，面内角接触背对背轴承装于中框前的轴承孔之内，并通过轴承端盖四压住轴承外环，轴承端盖四通过螺钉与中框前固连；偏摆托框前表面上设有轴孔，旋转轴四的一端配合安装在偏摆托框前表面轴孔内，旋转轴四另一端与面内角接触背对背轴承内环配合安装，并通过轴承压环四固定，面内角接触面对面轴承装于中框后的轴承孔之内，轴承端盖三通过螺钉与中框后固连；偏摆托框后表面上设有轴孔，旋转轴三的一端配合安装在偏摆托框后表面轴孔内，旋转轴三的另一端与面内角接触面对面轴承的内环配合安装，并通过轴承压环三固定，形成了十字交叉结构，实现绕两个轴的旋转，俯仰面内微驱动器组件一和俯仰面内微驱动器组件二结构相同，俯仰面内微驱动器组件一与外框后固接，俯仰面内微驱动器组件一的俯仰面内推板通过俯仰驱动弯板与中框后固接，驱动中框组件相对外框组件绕轴转动；俯仰面内微驱动器组件二通过整体电机托板与中框左固接，俯仰面内微驱动器组件二的俯仰面内推板通过面内驱动弯板与偏摆托框固接，驱动偏摆托框相对中框组件绕轴转动；所述平动驱动组件包括平动底座、长滚动导轨一、长滚动导轨二、平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三、平动导轨连接板四和整体调整微驱动组件，所述长滚动导轨一和长滚动导轨二位于平动底座的两端，对称布置并与平动底座固接，平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三、平动导轨连接板四分别与长滚动导轨一和长滚动导轨二的四个滑块固接，整体调整微驱动组件位于平动底座的中间，并与平动底座固接。