一种氮化铝晶体制备炉及其保温装置

摘要

本实用新型提供了一种氮化铝晶体制备炉的保温装置，包括用于套设在加热器外侧的保温筒；设置在坩埚底端的底部保温屏和设置在所述坩埚顶端的顶部保温屏。本实用新型提供的氮化铝晶体制备炉的保温装置通过保温筒对加热器形成侧面保温层，通过底部保温屏对加热器的底端形成底部保温层，通过顶部保温屏对加热器的顶端形成顶部保温层，这样一来，本实用新型提供的氮化铝晶体制备炉的保温装置对加热器的圆周侧面、顶部以及底部分别设置了保温层，提高了保温性能，有利于获取长晶要求的轴向温度梯度，提高了氮化铝晶体的生长质量。本实用新型还提供了一种氮化铝晶体制备炉，包括保温装置，所述保温装置为本实用新型提供的氮化铝晶体制备炉的保温装置。

主权项

一种氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，包括：用于套设在加热器外侧的保温筒（4）；设置在坩埚底端的底部保温屏（5）；和设置在所述坩埚顶端的顶部保温屏（1）。