容性体声波盘状陀螺仪

摘要

本发明公开了一种在(100)和(111)硅基底上实现的容性体声波x，y以及z轴陀螺仪。示例的陀螺仪包括处理基底，由所述处理基底支撑的体声波谐振器元件，以及围绕所述谐振器元件且与所述谐振器元件分开非常小的容性间隙的多个电极。所述电极能够激励和检测谐振器中的至少两个简并的体声波谐振模。本发明的优点包括：减小的尺寸；较高的Q，这改善了噪声和偏置稳定性；较大的带宽以及改善的抗冲击性。此外，能够在大气压或接近大气压下保持高的Q，这降低了陀螺仪的晶片级封装的成本和复杂性。

主权项

一种陀螺仪，包括：体声波谐振器；耦合至所述体声波谐振器的至少一个第一电极，所述至少一个第一电极被定位用于激励所述体声波谐振器以第一体声波模进行的振动；以及耦合至所述体声波谐振器的至少一个第二电极，所述至少一个第二电极被定位用于检测所述体声波谐振器以第二体声波模进行的振动，所述第一和第二体声波模是简并的，其中所述至少一个第一电极或者所述至少一个第二电极围绕所述体声波谐振器并通过间隙与所述体声波谐振器分开，以容性地激励和检测所述体声波谐振器中振动的体声波模。