首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
THROUGHPUT ENHANCEMENT FOR SCANNED BEAM ION IMPLANTERS
摘要
申请公布号
KR20130077834(A)
申请公布日期
2013.07.09
申请号
KR20127031742
申请日期
2011.04.27
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
EISNER EDWARD;VANDERBERG BO
分类号
H01J37/317;H01J37/147;H01J37/302
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
一种多功能真三轴岩石钻探测试系统
一种超声波笔的书写方法
一种高温高压环境下测量动态接触角的实验装置
新型鼠标
基于立体视觉系统的倾斜车牌图像精确矫正方法
一种基于面部的室内巡逻分析方法
一种白光LED用磷酸盐白光荧光粉及其制备方法
自动化风扇驱动系统
一种导气系统及方法
电缆防护装置和风力发电机组
风扇及其控制方法
一种乳化型防锈剂
一种节能移动端的光控通信的防盗系统
一种以三元组分为活性层的有机太阳能电池
三维缺陷重构原位试验装置
测定乳酸菌饮料离心沉淀率的方法及系统
一种加窗谱线插值的电力系统频率计算方法
一种用耐热铸铁生产的钢厂渣罐及其制备方法
一种公共地面指示桩
电能计量实训装置