发明名称 THROUGHPUT ENHANCEMENT FOR SCANNED BEAM ION IMPLANTERS
摘要
申请公布号 KR20130077834(A) 申请公布日期 2013.07.09
申请号 KR20127031742 申请日期 2011.04.27
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 EISNER EDWARD;VANDERBERG BO
分类号 H01J37/317;H01J37/147;H01J37/302 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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