发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MULTICOUCHE SUR UN SUPPORT
摘要 L'invention concerne un procédé de fabrication d'une structure multicouche (16) sur un premier support (30) en un premier matériau ayant un module d'Young E , le procédé comprenant l'utilisation d'un second support (40, 42) ayant une face plane (47) recouverte de la structure multicouche, le second support étant en un second matériau ayant un module d'Young E , différent du module d'Young E , et une épaisseur e , la moyenne sur l'épaisseur e du module d'Young E , mesuré selon n'importe quelle direction dans un plan parallèle à ladite face, étant constante à 10 % près ; le collage du premier support à la structure multicouche ; et le retrait du second support.
申请公布号 FR2985369(A1) 申请公布日期 2013.07.05
申请号 FR20110062523 申请日期 2011.12.29
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 ROSSINI UMBERTO;TEMPLIER FRANCOIS
分类号 H01L21/98;B32B7/10;H01L23/15 主分类号 H01L21/98
代理机构 代理人
主权项
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