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Drucksensor (1) mit folgenden Merkmalen: einem Substrat (146, 471); einer Gegenstruktur (16), die als Schicht auf dem Substrat (146, 471) aufgebracht ist; einem Dielektrikum (481), das als Schicht auf der Gegenstruktur (16) aufgebracht ist; einer Membran (11), die als Schicht auf dem Dielektrikum (481) aufgebracht ist, wobei die Membran (11) oder die Gegenstruktur (16) so angeordnet sind, dass die Membran (11) bezüglich der Gegenstruktur (16) durch einen angelegten Druck auslenkbar ist, oder dass die Gegenstruktur (16) bezüglich der Membran (11) durch den angelegten Druck auslenkbar ist; einer Schutzstruktur (96), wobei die Schutzstruktur (96) von der Gegenstruktur (16) und der Membran (11) elektrisch isoliert ist, wobei die Schutzstruktur (96) so bezüglich der Membran (11) angeordnet ist, daß sich eine Kapazität (316) zwischen der Schutzstruktur (96) und der Membran (11) bildet; und einer Einrichtung (376) zum Liefern eines Potentials (266) an der Schutzstruktur (96), das sich von einem Potential (256, 276, 286, 296) an der Gegenstruktur (16) oder der Membran (11) unterscheidet, wobei die Einrichtung (376) zum Liefern eines Potentials (266) an der Schutzstruktur (96) ausgelegt ist, das Potential (276, 286, 296) an der Membran (11) zu bestimmen und das Potential (256) an der Schutzstruktur (96) in Abhängigkeit von dem Potential (276, 286, 296) an der Membran (11) einzustellen.
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