发明名称 场发射阴极的制备方法
摘要 本发明涉及一种场发射阴极的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底;在上述基底表面形成一导电薄膜层;在导电薄膜层上形成一含碳的催化剂层;通入碳源气与载气的混合气体流经上述催化剂层表面;以及以雷射光束聚焦照射基底从而生长奈米碳管阵列,形成场发射阴极。
申请公布号 TWI321806 申请公布日期 2010.03.11
申请号 TW095149798 申请日期 2006.12.29
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 陈卓;罗春香;姜开利;范守善
分类号 H01J9/02;H01J63/02 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项 一种场发射阴极的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底;在上述基底表面形成一导电薄膜层;在导电薄膜层上形成一含碳的催化剂层;通入碳源气与载气的混合气体流经上述催化剂层表面;以及以雷射光束聚焦照射基底从而生长奈米碳管阵列,形成场发射阴极。
地址 台北县土城市自由街2号