基板输送装置

摘要

一种基板输送装置，其包含有至少一位移组，其具有至少一悬臂与一升降模块与一横移模块，该横移模块设于输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间；如前所述，通过升降模块及横移模块，以达到悬臂升降横移的效果，进而能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。

主权项

一种基板输送装置，其特征在于，应用于一具有多个输送轮的机台，该基板输送装置包含有：至少一位移组，其设于该机台的一侧，该位移组具有至少一悬臂、一升降模块与一横移模块，该横移模块设于该输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块上，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间。