一种超材料的制备方法和超材料

摘要

本发明实施例提供了一种超材料的制备方法该超材料制备方法包括：在基材上刻蚀出微结构沟槽；在具有微结构沟槽的基材上附着一层金属；去掉基材上除微结构沟槽以外部分附着的金属，获得超材料。本发明另一实施例还提供了一种超材料，该超材料包括：具有微结构沟槽的基材；以及附着在所述微结构沟槽中的金属层。以实现将刻蚀技术和抛光技术同时应用于超材料制备工艺，提高超材料制备的效率。

主权项

一种超材料的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将预设的微结构参数输入到所述激光刻蚀机的控制系统，所述控制系统根据接收的微结构参数，控制所述激光刻蚀机的刻蚀单元在所述基材上进行刻蚀，在所述基材上形成微结构沟槽；在具有微结构沟槽的基材上附着一层金属；对附着有金属的基材进行抛光，去掉基材上除微结构沟槽以外部分附着的金属；或者，采用化学的方法，洗去基材上除微结构沟槽以外部分附着的金属，获得超材料。