发明名称 |
一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构 |
摘要 |
本实用新型提供了一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏,热屏包括水平式热屏、垂直式热屏和倾斜式热屏,各屏之间缝隙用钼条垂直间隔支撑。本方案能够优化蓝宝石单晶生长炉内热场分布,控制和改善炉内的轴向和径向温度梯度,从而促进晶体生长过程中凸的液固界面的形成,降低原位退火过程中晶体内部的热应力,提高晶体质量。结合泡生法的特点,本保温结构还具备其它特点:侧壁空心球的不同放置具有控制炉内温度梯度的作用,利于长晶过程中凸界面的形成,而倾斜放置的热屏则强化了炉内的热反射,对已生长出的晶体起到了烘烤作用,使晶体表面温度分布更加平缓,降低了由于热应力过高而导致晶体开裂的概率。 |
申请公布号 |
CN203034144U |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN201220705297.8 |
申请日期 |
2012.12.19 |
申请人 |
苏州巍迩光电科技有限公司 |
发明人 |
王庆国;钱兵;朱烨;汪红卫;鞠星 |
分类号 |
C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/20(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构,设置于不锈钢桶内,其特征是:采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏,所述热屏包括水平式热屏、垂直式热屏和倾斜式热屏;所述水平式热屏为中心开孔的圆环形;所述倾斜式热屏为带45°倾角的圆锥状热屏,设置于水平式热屏与坩埚之间的空间中;所述垂直式热屏为竖直圆筒状,可容纳水平式热屏和倾斜式热屏。 |
地址 |
215211 江苏省苏州市吴江汾湖经济开发区汾湖大道558号 |