一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机

摘要

一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机，属于半导体芯片设备制造领域，为了解决现有Z轴伺服电机的制动装置响应不够迅速、制动力矩不够大的问题。它由Z轴伺服电机和断电制动装置组成，断电制动装置包括环形侧壁、固定磨擦片、间距定位套、牙嵌齿轮、牙嵌磨擦片、活动磨擦片、弹性装置和电磁铁线圈，环形侧壁固定在Z轴伺服电机的端盖上，电磁铁线圈套在Z轴伺服电机的Z轴电机轴外侧，活动磨擦片与Z轴伺服电机端盖之间设置有弹性装置，牙嵌磨擦片套在Z轴电机轴的外侧，牙嵌齿轮位于Z轴电机轴和牙嵌磨擦片之间，和牙嵌磨擦片滑动啮合连接，固定磨擦片套在Z轴电机轴外，与Z轴伺服电机端面间设有间距定位套。用于硅片传输机器人的Z轴驱动装置。

主权项

一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机，它由Z轴伺服电机(12)和断电制动装置组成，所述断电制动装置固定在Z轴伺服电机(12)的输出轴一侧的端面上，其特征在于：所述断电制动装置包括环形侧壁(11)、固定磨擦片(2)、间距定位套(3)、牙嵌齿轮(4)、牙嵌磨擦片(5)、活动磨擦片(6)、弹性装置(7)和电磁铁线圈(8)，所述环形侧壁(11)固定在Z轴伺服电机(12)的端盖上，并且环形侧壁(11)与Z轴伺服电机(12)的输出轴同轴；电磁铁线圈(8)套在Z轴伺服电机(12)的Z轴电机轴(10)的外侧，并且与Z轴伺服电机(12)的端盖固定连接，电磁铁线圈(8)的内壁与Z轴电机轴(10)之间留有间隙；活动磨擦片(6)为圆环形，活动磨擦片(6)套在Z轴电机轴(10)的外侧，且与Z轴电机轴(10)之间留有间隙，且位于电磁铁线圈(8)上，活动磨擦片(6)与Z轴伺服电机(12)的端盖之间设置有弹性装置(7)；牙嵌磨擦片(5)为内侧壁带有齿的圆环形，牙嵌磨擦片(5)套在Z轴电机轴(10)的外侧，牙嵌磨擦片(5)与活动磨擦片(6)固定连接；牙嵌齿轮(4)为外侧壁带有齿的圆环形，牙嵌齿轮(4)位于Z轴电机轴(10)和牙嵌磨擦片(5)之间，且其内壁与Z轴电机轴(10)固定连接，牙嵌齿轮(4)和牙嵌磨擦片(5)滑动啮合连接；固定磨擦片(2)为圆环形，固定磨擦片(2)套在Z轴电机轴(10)外，且与Z轴电机轴(10)之间留有间隙，固定磨擦片(2)的外侧壁与环形侧壁(11)的内侧壁间隙配合，固定磨擦片(2)与Z轴伺服电机(12)的端面之间设置有间距定位套(3)，且固定磨擦片(2)与Z轴伺服电机(12)的端面固定连接，活动磨擦片(6)能够在沿轴向运动，并且在弹性装置(7)的弹性作用下，能够与固定磨擦片(2)紧密接触。