微波匀胶设备及其方法

摘要

本发明公开了一种微波匀胶设备，包括：托盘(10)，安装于腔室内部，用于吸附基片(9)；喷嘴(7)，延伸入腔室内部，用于将去离子水、有机溶剂或光刻胶喷射到基片上；微波发生装置(11)，安装于腔室侧壁，用于产生微波对基片提供热量；温控系统(12)，安装于腔室上壁，用于控制微波发生装置(11)以设定微波加热的功率、频率、时间。依照本发明的微波匀胶设备及其方法，采用微波加热脱水，快速蒸发基片内水分，降低涂胶工艺的时间成本、减小环境污染。此外微波干燥施加的热量是从基片内部逐渐扩散到基片外部，从而减小干燥应力，使薄膜涂层既具有低的孔隙度又有较好的强度，避免干凝胶的开裂。

主权项

一种微波匀胶设备，包括：托盘(10)，安装于腔室内部，用于吸附基片(9)；喷嘴(7)，延伸入腔室内部，用于将去离子水、有机溶剂或光刻胶喷射到基片上；微波发生装置(11)，安装于腔室侧壁，用于产生微波对基片提供热量；温控系统(12)，安装于腔室上壁，用于控制微波发生装置(11)以设定微波加热的功率、频率、时间。