发明名称 |
一种砷化镓多晶铸锭方法 |
摘要 |
一种砷化镓多晶铸锭方法,它包括以下几个步骤:1)装料,2)升温,3)化料,4)走车,5)降温,6)出炉:待降温到100℃以下后将石英管从单晶炉中取出,在通风处打破石英管,取出多晶锭条;7)取样测试:多晶锭条取样测试,电学参数测试合格后即可投入单晶生长。该方法优点是可将合成尾料、单晶尾料以及单晶生长过程中,偶尔也有漏气或因停电引起的多晶料,重新溶化,重新凝固,获得砷化镓多晶铸锭,操作方便,降低成本。 |
申请公布号 |
CN103184501A |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN201110454217.6 |
申请日期 |
2011.12.30 |
申请人 |
北京有色金属研究总院;有研光电新材料有限责任公司 |
发明人 |
武壮文 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/42(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
郭佩兰 |
主权项 |
一种砷化镓多晶铸锭方法,其特征在于:它包括以下几个步骤:1)装料:砷化镓多晶料放入异形舟中,再将石英舟放入石英管中,放入按石英管剩余体积计算出的砷量,然后抽真空封管;2)升温:将上述封好的石英管装入12段水平单晶炉中,升温,高温6个区除高一区外直接升到1250℃,界面区和中温区按单晶生长温度,界面区下部温度比单晶生长低20℃,温度升到后开始化料;3)化料:在4‑6小时内,通过观测窗口和炉体前后观看,确认铸锭料全部熔化后,开始降高温2‑6区温度比单晶生长温度高出5℃,固液交界面区温度和中温温度同上。4)走车:温度稳定后,开始移动加热体,移动速度为20mm/h;5)降温:从窗口看到溶体已全部凝固后,断电降温;6)出炉:待降温到100℃以下后将石英管从单晶炉中取出,在通风处打破石英管,取出多晶锭条;7)取样测试:多晶锭条取样测试,电学参数测试合格后即可投入单晶生长。 |
地址 |
100088 北京市东城区西直门外大街2号 |