一种气体激光器弧光放电保护系统

摘要

本发明的气体激光器弧光放电保护系统属于自动控制领域，该系统包括弧光探测线圈(2)、电压比较器(3)、整形电路(4)、光发射器(5)、光纤(6)、光接收器(7)、二十进制异步脉冲计数电路(8)、百进制同步脉冲计数电路(9)、五进制同步脉冲计数电路(10)、激光器控制系统(11)、与门电路(12)和或门电路(13)，本发明利用电磁感应原理对气体激光器实施保护。本发明可应用于所有的脉冲放电泵浦的气体激光器，能在很大程度上提高这类激光器的可靠性。

主权项

一种气体激光器弧光放电保护系统，其特征在于，该系统包括弧光探测线圈（2）、电压比较器（3）、整形电路（4）、光发射器（5）、光纤（6）、光接收器（7）、二十进制异步脉冲计数电路（8）、百进制同步脉冲计数电路（9）、五进制同步脉冲计数电路（10）、激光器控制系统（11）、与门电路（12）和或门电路（13）；所述弧光探测线圈（2）安装在气体激光器（1）的放电电流回路侧，其接收气体激光器（1）的放电电流产生的磁场，并将经过电磁感应得到的弧光放电感应电压输出给电压比较器（3）；所述电压比较器（3）与弧光探测线圈（2）电连接，其接收弧光探测线圈（2）输出的弧光放电感应电压，并将该弧光放电感应电压与设定的阈值电压进行比较，当弧光放电感应电压超过设定的阈值电压后，电压比较器（3）输出信号给整形电路（4）；所述整形电路（4）与电压比较器（3）电连接，其对电压比较器（3）输出的电信号进行整形后发送给光发射器（5）；所述光发射器（5）与整形电路（4）电连接，光发射器（5）将接收到的电信号转换成光脉冲信号并通过光纤（6）发送给光接收器（7）；所述光接收器（7）与光纤（6）电连接，其将光信号转换成电信号再分别送至二十进制异步脉冲计数电路（8）、百进制同步脉冲计数电路（9）、五进制同步脉冲计数电路（10）；所述激光器控制系统（11）分别与气体激光器（1）、百进制同步脉冲计数电路（9）、五进制同步脉冲计数电路（10）电连接，激光器控制系统（11）发出的激光发射信号一路送给气体激光器（1）使其工作，另两路分别送至百进制同步脉冲计数电路（9）、五进制同步脉冲计数电路（10）作为同步信号；所述百进制同步脉冲计数电路（9）与与门电路（12）电连接，当百进制同步脉冲计数电路（9）计数100个激光器放电脉冲后输出信号至与门电路（12），将与门电路（12）打开；所述二十进制异步脉冲计数电路（8）与与门电路（12）电连接，若在上述 100个激光器放电脉冲中累计有二十个弧光放电脉冲，则二十进制异步脉冲计数电路（8）输出一个脉冲信号至与门电路（12），与门电路（12）将此脉冲信号输出至或门电路（13），或门电路（13）输出一个脉冲信号至激光器控制系统（11），激光器控制系统（11）立即调整气体激光器（1）的放电参数或使气体激光器（1）停止工作；所述五进制同步脉冲计数电路（10）与或门电路（13）电连接，若在上述100个激光器放电脉冲中连续有五个弧光放电脉冲发生，则五进制同步脉冲计数电路（10）会输出一个脉冲信号至或门电路（13），或门电路（13）输出一个脉冲信号至激光器控制系统（11），激光器控制系统（11）立即调整气体激光器（1）的放电参数或使气体激光器（1）停止工作；所述或门电路（13）与激光器控制系统（11）电连接，其输出脉冲信号至激光器控制系统（11）；所述气体激光器（1）与激光器控制系统（11）电连接，其接收激光器控制系统（11）发送的激光发射信号，并根据该信号调整其放电参数或停止工作。