异物检查装置

摘要

一异物检查装置包含一照射单元及第一和第二侦测单元，该照射单元被组构来发射倾斜地入射于待检查之表面上的照射光，以形成线性的照射区域于该待检查之表面上。该第一和第二侦测单元系相对于该待检查之表面而被配置在和设置有该照射单元之一侧相同的一侧上，且该第一和第二侦测单元被组构来侦测由在该待检查之表面上的异物所造成的散射光。该第一和第二侦测单元系相对于含有该线性的照射区域之平面而被配置在相反的位置处。