СИСТЕМА ЛАТЕРАЛЬНОГО ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ

摘要

Предлагается модульная система латерального транспортирования для использования в горизонтально ориентированной технологической камере. Каждый модуль способен не только перемещать реагенты в горизонтально ориентированной технологической камере, но и осуществлять подачу технологического газа. Модульная конструкция позволяет оператору снять и заменить любой модуль системы, таким образом значительно снижая время простоя камеры во время обслуживания.