发明名称 Sawing Apparatus of Single Crystal the same
摘要 Provided is a single crystal ingot sawing apparatus. The single crystal ingot sawing apparatus includes a wire saw configured to slice an ingot, a roller for configured to drive the wire saw, and a slurry bath for configured to receive slurry supplied onto the wire saw.
申请公布号 KR101279681(B1) 申请公布日期 2013.06.27
申请号 KR20100094437 申请日期 2010.09.29
申请人 发明人
分类号 B24B27/06;B28D1/08;B28D5/04;H01L21/304 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
主权项
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