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Hitzeschild für eine thermische Bearbeitungskammer (1), mit einer einem Innenraum der Bearbeitungskammer (1) zugewandten Frontplatte (13) und einer dem Innenraum der Bearbeitungskammer (1) abgewandten Rückplatte (15), wobei eine Deckfläche (14) der Frontplatte (13) und/oder eine Bodenfläche (16) der Rückplatte (15) eine einen Kühlkanal (12) bildende Vertiefung (117) aufweist, und wobei die Deckfläche (14) der Frontplatte (13) und die Bodenfläche (16) der Rückplatte (15) durch eine Diffusions- oder Elektronenstrahlschweißverbindung miteinander verbunden sind.
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