惰性气体注入设备及惰性气体注入方法

摘要

本发明提供一种惰性气体注入设备。惰性气体注入设备具备：注入装置（N），设在支承收存基板（W）的容器（50）的支承部上，在从容器（50）的排气口（50o）使容器（50）内的气体向外部排出的状态下，从容器（50）的供气口（50i）将惰性气体向容器（50）的内部注入；控制装置（H），控制注入装置（N）的动作。注入装置（N）可变更惰性气体的供给流量而构成；控制装置（H）构成为，在向支承在支承部上的容器（50）供给惰性气体时，控制注入装置（N）的动作，以使供给流量朝向目标流量逐渐增加。

主权项

一种惰性气体注入设备，具备：注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以从上述容器的排气口使上述容器内的气体向外部排出的状态，从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；控制装置，控制上述注入装置的动作；其特征在于，上述注入装置可变更上述惰性气体的供给流量而构成；上述控制装置构成为，在向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向目标流量逐渐增加。