工模具的高熵合金涂层制备工艺

摘要

本发明提供了一种工模具的高熵合金涂层制备工艺，首先，将Ni、Co、Fe、Cr、Ti以等摩尔比例配置制备NiCoFeCrTi高熵合金材料；然后，以所述NiCoFeCrTi高熵合金材料和一个单一元素材料为靶材，采用射频磁控溅射法在一个硬质合金基体上溅镀高熵合金氮化物薄膜涂层；最后，将所述高熵合金氮化物薄膜涂层放入一个空气气氛炉中，在所述空气气氛炉中在500至1000摄氏度的范围内对其氧化1小时后，再通入氮气在500至1000摄氏度的范围内对其进行1小时的热处理。本发明提供了一种能在保证涂层良好的高温稳定性以及与基体有着较高的结合强度的情况下，涂层的硬度、耐磨性及韧性都有明显提高的工模具的高熵合金涂层制备工艺。

主权项

一种工模具的高熵合金涂层制备工艺，其特征在于：首先，将镍、钴、铁、铬、钛以等摩尔比例配置制备NiCoFeCrTi高熵合金材料；然后，以所述NiCoFeCrTi高熵合金材料和一个单一元素材料为靶材，采用射频磁控溅射法在一个硬质合金基体上溅镀高熵合金氮化物薄膜涂层；最后，将所述高熵合金氮化物薄膜涂层放入一个空气气氛炉中，所述空气气氛炉中在500至1000摄氏度的范围内对其氧化1小时后，再通入氮气并在500至1000摄氏度的范围内对其进行1小时的热处理。