| 发明名称 | 新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明公开了具有由化学式（1）表示的结构的丙烯酸类单体、含有来自所述丙烯酸类单体的重复单元的聚合物和通过使用该聚合物制备的抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物显示优异的粘合性、存储稳定性和改善的线宽度粗糙度，在C/H图案和L/S图案二者中显示优异的分辨率，具有优异的工艺窗口，使得可以获得优异的图案轮廓而与衬底的类型无关，并且显示改善的对比度。<img file="DDA00002631039000011.GIF" wi="303" he="628" />化学式中各取代基的定义如说明书中所述。 | ||
| 申请公布号 | CN103172518A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201210564295.6 | 申请日期 | 2012.12.21 |
| 申请人 | 锦湖石油化学株式会社 | 发明人 | 韩俊熙;金真湖;任铉淳;申大铉 |
| 分类号 | C07C69/753(2006.01)I;C07C67/14(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F232/08(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C69/753(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 黄丽娟;陈英俊 |
| 主权项 | 1.具有由以下化学式（1）表示的结构的丙烯酸类单体： [化学式1] <img file="FDA00002631038700011.GIF" wi="267" he="640" />其中，R<sub>1</sub>表示氢原子或甲基； R<sub>2</sub>表示含1-10个碳原子的链烷二基； R<sub>3</sub>表示含3-30个碳原子的环烷基；和 在R'和R″不同时是氢原子的情况下，R'和R″各自独立地表示选自氢原子、含1-10个碳原子的烷基、含3-30个碳原子的环烷基和（C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基）环烷基中的任一个。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||