发明名称 |
具有毂的晶片载具 |
摘要 |
一种用于转盘CVD反应器的晶片载具(30)包括陶瓷例如碳化硅形成的一体式托板(32),在该托板的上游表面(34)限定了晶片保持特征例如容槽(38);还包括毂(40),其在托板(32)的区(44)中以可拆下的方式安装在托板(32)上。毂(40)提供了在反应器芯轴(16)上的紧固连接,而不会在陶瓷托板(32)上施加集中应力。毂(40)可在清洁托板(32)的过程中拆下。晶片载具(30)还优选包括在托板(32)的区(44)设在托板(32)的上游表面(34)上的气体流动促进元件(348,448)。气体流动促进元件(348,448)有助于重新引导入射气体沿着上游表面(34)流动并且避开在区(44)出现的流动不连续性。 |
申请公布号 |
CN103173743A |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201310021407.8 |
申请日期 |
2008.12.01 |
申请人 |
威科仪器有限公司 |
发明人 |
V·博古斯拉夫斯基;A·I.·居拉瑞;K·莫伊;E·A.·阿穆尔 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
蔡胜利 |
主权项 |
一种用于CVD反应器的晶片载具,包括:(a)托板,其具有朝向彼此相反方向的上游表面和下游表面,所述托板具有中央区和外围区,所述托板在外围区中具有晶片保持特征,所述晶片保持特征被配置成保持多个晶片,以使所述晶片暴露在托板的上游表面;以及(b)气体流动促进元件,其在中央区从托板的上游表面突伸。 |
地址 |
美国纽约 |