| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (10) und einem Schichtaufbau auf dem Substrat (10). Das Bauelement umfasst eine Membran (1), die einen Hohlraum (2) im Substrat (10) überspannt, und eine starre Deckschicht (16), die über der Membran (1) und beabstandet zu dieser angeordnet ist und mindestens eine Zugangsöffnung (4) zur Membran (1) aufweist, so dass die Membran (1) über die Zugangsöffnung (4) mit Druck beaufschlagbar ist und senkrecht zu den Schichtebenen elastisch auslenkbar ist. Im Schichtaufbau der Membran (1) ist mindestens ein Schaltungselement (3) zum Erfassen von Membranauslenkungen als Bestandteil einer Auswerteschaltung ausgebildet.</p><p>Es wird vorgeschlagen, eine Kompensationsschaltung mit mindestens einem Aktuatorelement (3, 7) zur Kompensation von mechanischen Spannungen in der Membran eines solchen mikromechanischen Bauelements vorzusehen.
</p> |
