基板处理装置和移载方法

摘要

本发明提供能够抑制在对基板的支撑方式进行转换的转换部中浮起支撑基板的部分在搬运方向上的长度并且能够易于避免升降辊与其他构件接触的基板处理装置。基板处理装置（l）的转换部（20）具有多个升降辊（21）、多个自由辊（24）和入口浮起工作台（25）。在转换基板（9）的支撑方式时，基板（9）的搬运方向上游侧的一部分从多个升降辊（21）向多个自由辊（24）移载。因此，能够抑制入口浮起工作台（25）在搬运方向上的长度，并且能够转换基板（9）的支撑方式。自由辊（24）能够以简单的结构可靠地支撑基板（9），并且能够配置在狭小的区域内。因而，易于将多个自由辊（24）配置在不与多个升降辊（21）接触的位置。

主权项

一种基板处理装置，具有搬运基板的机构，其特征在于，具有：第一搬运部，其从搬运方向上游侧将基板搬运至规定位置，第二搬运部，其从所述规定位置向搬运方向下游侧搬运基板，移载部，其在所述规定位置，将基板从所述第一搬运部移载至所述第二搬运部；所述移载部具有顶起机构，该顶起机构在维持基板的一部分被接触支撑为水平姿势的状态的情况下，顶起基板的其他部分，所述第二搬运部具有一边从下表面侧保持基板一边在搬运方向上移动的保持部，该基板处理装置还具有控制部，所述控制部控制所述顶起机构和所述保持部，使得在通过所述顶起机构局部地顶起基板并且使所述保持部进入基板的被顶起的部分的下方后，通过解除所述顶起机构的顶起而使基板保持在所述保持部上。