发明名称 一种掩模板
摘要 本实用新型涉及一种掩模板,所述掩模板包括ITO接触面和蒸镀面,在蒸镀面上设置有多个蒸镀孔,蒸镀孔自蒸镀面贯穿至ITO接触面,且截面呈阶梯状,蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段,蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状。本实用新型仅使用激光工艺来完成蒸镀孔的加工,省去了使用多种工艺加工蒸镀孔时需要的二次拆卸和装夹工序,也避免了使用多种工艺加工蒸镀孔所带来的安装误差,从而可有效提高蒸镀孔的加工精度和加工效率,降低掩模板的生产成本,从而降低了OLED显示屏的制造成本,具有广阔的市场前景。
申请公布号 CN203021640U 申请公布日期 2013.06.26
申请号 CN201220727273.2 申请日期 2012.12.26
申请人 唐军;钱超 发明人 唐军
分类号 C23C14/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 代理人 张志醒
主权项 一种掩模板,包括ITO接触面和蒸镀面,在所述蒸镀面上设置有多个蒸镀孔,所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面,且截面呈阶梯状,其特征在于:所述蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段,所述蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状。
地址 518000 广东省深圳市沙井和一村蚝一西部工业区A12栋3楼