应用于蚀刻液循环再生设备的“1+1”保护系统

摘要

本发明涉及了一种应用于蚀刻液循环再生设备的“1+1”保护系统，整个系统由组分调节系统、电解系统、温控系统组成，其中，电解系统包括两个相互独立的电解装置：主控电解装置和备用电解装置，并在关键连接点设有源节点电子阀门、宿节点电子阀门和互导电子阀门。分别对主控电解装置、备用电解装置、源节点电子阀门、宿节点电子阀门和互导电子阀门进行控制设置，使得对不同类型告警进行不同动作处理，告警可分为外部信号告警和主控电解装置启动保护告警。通过该发明，可以提高系统处理不同废液量的灵活性，增加系统的安全性和可靠性，且自动化程度高、操作控制方便。

主权项

应用于蚀刻液循环再生设备的“1+1”保护系统由组分调节系统(2)、电解系统(3)、温控系统(4)组成，其特征在于：组分调节系统(2)设有与蚀刻槽(1)相连接的管路，组分调节系统(2)通过管路与电解系统(3)相连接，电解系统(3)通过管路与温控系统(4)相连接，温控系统(4)通过管路与组分调节系统(2)相连接。所述的电解系统(3)由两个相互独立的电解装置并联而成，两个相互独立的电解装置分别为主控电解装置(A)和备用电解装置(B)，其中，组分调节系统(2)、主控电解装置(A)和备用电解装置(B)三者连接点设有源节点电子阀门(a)，温控系统(4)、主控电解装置(A)和备用电解装置(B)三者连接点设有宿节点电子阀门(b)，主控电解装置(A)和备用电解装置(B)之间设有管路连接，管路中设有互导电子阀门(c)，所述的源节点电子阀门(a)、宿节点电子阀门(b)和互导电子阀门(c)分别控制其所在管路的连通与断开。分别对主控电解装置(A)、备用电解装置(B)、源节点电子阀门(a)、宿节点电子阀门(b)和互导电子阀门(c)进行控制设置，使得对不同类型告警进行不同动作处理，告警可分为外部信号告警和主控电解装置启动保护告警。