一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块

摘要

本发明公开了一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块，包括印刷电路板、设置在印刷电路板中心的微波功率放大器、设置于微波功率放大器外周的热电堆结构，热电堆结构包括依次串联的四个微机械热电堆，其中首尾两端的微机械热电堆分别连接一个压焊块，微机械热电堆与印刷电路板之间设置有砷化镓衬底。本发明具有改善微波收发机的散热性能，能够提供稳定的直流电压偏置，能量消耗小，且MEMS热电堆具有很高的集成度，与GaAs MMIC工艺相兼容，便于大规模生产。有效改善无线发射机系统的能量消耗，提高了系统的可靠性和稳定性。

主权项

一种微波收发机中的自供电微机械传感器，其特征在于，该传感器包括印刷电路板（1）、设置在所述印刷电路板（1）中心的微波功率放大器（2）、设置于所述微波功率放大器（2）外周的热电堆结构，所述热电堆结构包括依次串联的四个微机械热电堆（3），其中首尾两端的微机械热电堆（3）分别连接一个压焊块（4），所述微机械热电堆（3）与印刷电路板（1）之间设置有砷化镓衬底（5）。