薄片盘状物清洗甩干器

摘要

本发明涉及集成电路加工工艺技术领域，具体公开了一种薄片盘状物清洗甩干器，包括：甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述薄片盘状物一起旋转。本发明实施例通过采用气体和药液同时作用在薄片盘状物背部，对其进行清洗和甩干，并通过对残留液滴进行抽真空，能够将薄片盘状物背面的药液残留和颗粒彻底清洗干净，保证薄片盘状物的无污染，且本装置结构简单、易于实现。

主权项

一种薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，包括：甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述甩干装置一起旋转。