探针装置

摘要

在具有电路基板以及支撑触头的支撑板的探针卡的上表面一侧设置有加强部件。在加强部件的外周部形成有多个长孔的导向孔。在导向孔内设置有被固定在保持部件上的固定部件以及被设置在固定部件的外周的套管。导向孔的长度方向上的长度比套管的直径长，导向孔形成为其长度方向上的中心线通过加强部件的中心。通过导向孔，可允许加强部件自身在水平方向上膨胀。

主权项

一种探针装置，用于检查被检查体的电气特性，该探针装置包括：探针卡，其包括支撑板和电路基板，该支撑板支撑触头，该触头接触到被检查体，该电路基板配置在所述支撑板的上表面一侧；加强部件，其一部分配置在所述电路基板的上表面一侧，该加强部件对所述电路基板进行加强；以及保持部件，保持所述加强部件的外周部；使被固定在所述保持部件上的固定部件插穿所述加强部件的外周部，多个导向孔在所述加强部件的厚度方向上贯穿所述加强部件而成，该导向孔用于引导所述加强部件在水平方向上伸缩，所述导向孔形成为在俯视下其长度方向上的长度比所述固定部件的直径长，所述导向孔的长度方向上的中心线通过所述加强部件的中心，在所述导向孔内，所述加强部件的外周部在铅垂方向与所述固定部件隔离形成。