| 摘要 |
一种传动机构之表面镀膜方法包括以下步骤：提供一传动机构；清洁该传动机构之表面；将该传动机构设置于一工作环境，在该工作环境中系导入一氢气与一四甲基矽烷(Tetra－methylsilane；TMS；Si(CH3)4)气体，施加一功率为800~1500瓦之外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，藉以在该传动机构之表面形成一附着膜；在附着膜之表面形成一混合膜；以及在混合膜之表面形成一非晶质类钻石(diamond－like carbon；DLC)膜，藉以制成一镀膜传动机构。在混合膜中，越远离传动机构处，非晶质DLC材料之含量越高。 |
