氢氧化四甲基铵的回收设备及其方法

摘要

本发明系一种氢氧化四甲基铵(TMAH)的回收设备，其系依序包括有一废液槽、一钠滤系统、一金属离子回收树脂塔、一氢氧化四甲基铵(Merry-Go-Round,MGR system)树脂塔、一回收处理水收集槽、至少一硫酸氢氧化四甲基铵[(TMA)2SO4]收液槽、一消除硫酸根(SO42-)或氯离子(Cl-)的离子消除树脂塔以及一TMAH回收槽，废水中的光阻剂藉由钠滤方式去除，而金属离子能藉由离子交换树脂而移除，并以TMAH回收槽回收纯化的TMAH溶液，以将其中的TMAH回收再利用，以减低其对于环境造成的污染。