发明名称 硫化金属奈米线及其阵列之制造方法
摘要 一种硫化金属奈米线及其阵列之制造方法,系可利用电化学沉积(Electrodeposition)、化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)、物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)等方法沉积一金属结合硫元素以形成一硫化金属奈米线阵列,藉此,使可利用该硫化金属奈米线阵列以制备成感测器,并因该硫化金属奈米线阵列易与待测物质产生连结,故可使其作为通道,且亦因该硫化金属奈米线阵列其线径极为细微,对气体感测具有极大的反应表面积,而可有效提高对待测物质及气体感测之灵敏度及反应时间,另,因其制造简单且成本低廉,故可大幅降低制造所需之成本及工时。
申请公布号 TWI399452 申请公布日期 2013.06.21
申请号 TW098128428 申请日期 2009.08.24
申请人 逢甲大学 台中市西屯区文华路100号 发明人 施仁斌;林雅婷
分类号 C23C16/26;C23C14/00 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人 洪耀临 高雄市左营区富国路185号11楼之1
主权项
地址 台中市西屯区文华路100号